2025-08-27
Comme les conceptions de circuits imprimés sont de plus en plus denses, avec des composants à haute résolution (0,4 mm BGA), des traces ultra-minces (3/3 mil) et des architectures HDI (High-Density Interconnect)L'absorption de l'eau dans le système d'immersion (immersion) est difficile pour fournir la précision nécessaire.. Entrez dans le vide de gravure à deux fluides: une technique avancée qui combine le liquide de gravure et le gaz comprimé sous vide pour atteindre une précision de trace inégalée, une sous-coupe minimale,et des résultats uniformes même sur les PCB les plus complexes.
Cette méthode est devenue indispensable pour la fabrication d'appareils électroniques hautes performances, des stations de base 5G aux appareils médicaux portables,lorsque la précision de la trace a une incidence directe sur l'intégrité et la fiabilité du signalCe guide démystifie la gravure sous vide à deux fluides, de son flux de travail étape par étape à ses avantages par rapport aux méthodes conventionnelles, et détaille comment elle résout les défis critiques de la production de PCB modernes.Que vous conceviez des cartes HDI ou que vous étaliez la production de PCB flexibles, la compréhension de ce processus vous aidera à obtenir des résultats cohérents et de haute qualité.
Qu'est-ce que la gravure sous vide à deux fluides?
Vacuum two-fluid etching is a specialized PCB etching process that uses a combination of liquid etchant (typically ferric chloride or cupric chloride) and compressed gas (air or nitrogen) in a sealed vacuum chamberLe vide élimine les bulles d'air et assure que le mélange de gaz de gravure (appelé spray à deux fluides) adhère uniformément à la surface du PCB, même dans les zones en retrait ou autour de traces fines.
Différence avec les méthodes de gravure traditionnelles
La gravure traditionnelle repose sur:
a.Spray etching: les buses à haute pression gravent sur le PCB, mais luttent contre l'uniformité sur les surfaces inégales et provoquent souvent une sous-coupe (gravure excessive sous les bords des traces).
b.Immersion de gravure: les PCB sont immergés dans des réservoirs de gravure, ce qui entraîne des taux de gravure lents, une mauvaise précision et des résultats incohérents pour les traces fines.
La gravure sous vide à deux fluides corrige ces défauts en:
a.Utiliser le vide pour que le mélange de gaz gravureur atteigne toutes les parties du PCB, y compris les petites voies et les traces étroites.
b.Contrôle de l'impact de l'incorporateur par pression gazeuse, réduction de la sous-coupe et préservation de l'intégrité des traces.
c. Permettant une gravure plus rapide et plus uniforme, même pour des substrats minces ou souples.
Les principaux objectifs de la gravure sous vide à deux fluides
Comme tous les procédés de gravure, son objectif est d'éliminer le cuivre indésirable du substrat de PCB (FR-4, polyimide) pour former des traces conductrices.
1.Précision: maintenir des tolérances de largeur de trace de ± 2 μm pour les dessins à haute résonance (3/3 mil ou moins).
2.Uniformité: assurer une gravure cohérente sur l'ensemble du PCB, même pour les grands panneaux (24×36×) ou les cartes HDI multicouches.
3.Minimal Undercutting: Limiter la gravure sous les bords de trace à ≤ 5% de la largeur de la trace, ce qui est essentiel pour préserver la résistance mécanique et l'intégrité du signal.
Processus de gravure à deux fluides sous vide étape par étape
La gravure sous vide à deux fluides suit un flux de travail contrôlé et séquentiel pour assurer la précision et la répétabilité.La réduction de l'efficience de l'exploitation.
Phase 1: Pré-traitement Préparation du PCB à la gravure
Une préparation adéquate assure que l'adhésif adhère uniformément et élimine le cuivre de manière cohérente:
1- Le nettoyage.
a.Objectif: éliminer les huiles, la poussière et les résidus photorésistants qui bloquent le contact du graveur avec le cuivre.
b.Procédure: les PCB sont nettoyés dans un bain ultrasonique avec un détergent alcalin (pH 10·11) à 50·60°C pendant 10·15 minutes. Un rinçage à l'eau par injection directe (conductivité < 5 μS/cm) élimine les résidus de détergent.
c.Contrôle critique: un test de rupture de l'eau confirme la propreté pas de perles d'eau sur la surface du PCB indique un nettoyage réussi.
2.Inspection photoresistante
a.Objectif: vérifier que la photorésistance (qui protège les traces de cuivre souhaitées) est intacte, sans trous ni rayures.
b.Processus: l'inspection optique automatisée (AOI) scanne le PCB à 500 ‰ 1000 DPI pour détecter les défauts de photorésistance. Les cartes endommagées sont retravaillées ou démontées pour éviter les erreurs de gravure.
3- Elle sèche.
a.Objectif: éliminer l'humidité de la surface du PCB, car l'eau dilue le gravureur et perturbe le mélange des deux fluides.
b.Procédure: les PCB sont séchés dans un four de convection à 80°100°C pendant 5°10 minutes, puis refroidis à température ambiante (25°C) afin d'éviter la déformation de la photorésistance.
Phase 2: mise en place de la chambre sous vide
La chambre à vide est le cœur du procédé, où le mélange de deux fluides est appliqué dans des conditions contrôlées:
1- Préparation de la chambre.
a.Étalonnage de la pression sous vide: la chambre est évacuée à une température de 50 à 100 mbar (millibars) suffisamment basse pour éliminer les bulles d'air, mais pas si basse qu'elle endommage le PCB.
b.Contrôle de la température et de l'humidité: la température de la chambre est maintenue à 25°C à 30°C; l'humidité est maintenue à < 40% pour éviter la condensation des gravureurs.
c.Alignement des buses: des buses de haute précision (diamètre 0,5 à 1,0 mm) sont alignées pour couvrir toute la surface du PCB, avec un angle de pulvérisation de 45° pour assurer une couverture uniforme.
2Chargement des PCB
a.Fixage: les PCB sont montés sur une plate-forme tournante (1015 RPM) pour s'assurer que tous les côtés reçoivent une exposition égale aux gravures.
b.Alignement fiduciaire: la scène utilise des marques fiduciaires (cercles de cuivre de 1 mm sur le PCB) pour positionner la carte avec une précision de ± 0,01 mm, ce qui est essentiel pour les dessins à traces fines.
Phase 3: Application et gravure du mélange à deux fluides
Il s'agit de la phase du noyau, où le mélange de gaz de gravure élimine le cuivre indésirable:
1Préparation du mélange
a.Sélection des produits de gravure: le chlorure de fer (FeCl3) est utilisé pour les PCB FR-4 (taux de gravure: 1 ‰ 2 μm/min); le chlorure de cuivre (CuCl2) est préféré pour les PCB flexibles (plus doux sur les substrats polyimides).
b.Proportion gaz-gravureur: l'azote comprimé (99,99% de pureté) est mélangé à un gravureur dans un rapport 3:1 (gaz:liquide) pour créer un brouillard fin.Ce rapport équilibre la vitesse et la précision de l'effraction. Des rapports de gaz plus élevés réduisent le sous-coupe mais l'effraction lente..
2Application par pulvérisation
a.Contrôle de la pression: le mélange de deux fluides est pulvérisé à une pression de 2 ‰ 4 bar. Une pression inférieure (2 bar) est utilisée pour les traces de 3/3 mil pour minimiser la sous-coupe; une pression plus élevée (4 bar) pour le cuivre plus épais (2 oz +).
b.Monitorage du temps de gravure: le temps de gravure varie en fonction de l'épaisseur du cuivre ¥1 ¥2 minutes pour le cuivre de 1 oz (35 μm), ¥3 ¥4 minutes pour le cuivre de 2 oz (70 μm).déclenchant l'arrêt du pulvérisateur une fois la cible atteinte.
3Élimination sous vide des déchets
a.Objectif: extraire les ions cuivre et les ions gravureuses épuisés de la chambre afin d'éviter une nouvelle déposition sur le PCB.
b.Procédure: Une pompe à vide élimine les déchets à une vitesse de 5 à 10 L/min, avec des filtres captant les particules de cuivre pour le recyclage (réduction de l'impact environnemental).
Phase 4: Après-traitement
Après la gravure, le PCB subit des étapes pour éliminer la photorésistance et vérifier la qualité:
1.Stripping photoresistant
a.Processus: les PCB sont immergés dans une solution d'hydroxyde de sodium (concentration de 5 à 10%) à 50 °C pendant 5 à 8 minutes pour dissoudre le photorésiste.
2Neutralité acide
a.Objectif: neutraliser les restes de gravure pour prévenir l'oxydation du cuivre.
b.Processus: une courte immersion (30 secondes) dans de l'acide sulfurique dilué (concentration de 5%) stabilise la surface du cuivre.
3- Séchage final
a.Procédure: des couteaux à air chaud (80°C) éliminent l'humidité de surface, suivis d'un séchoir sous vide pour éliminer l'eau piégée dans les voies.
4.Inspection de la qualité
a. Mesure de la largeur des traces: les profilomètres laser vérifient la largeur des traces à plus de 50 points par PCB, assurant une tolérance de ±2 μm.
b.Essai de sous-coupe: l'analyse de la section transversale (par microsection) vérifie que la sous-coupe est ≤ 5% de la largeur de la trace.
c. Re-inspection de l'AOI: les caméras détectent les défauts tels que les traces ouvertes, les courts-circuits ou le cuivre résiduel, les panneaux non conformes étant signalés pour retravail.
Gravure sous vide à deux fluides par rapport aux méthodes de gravure traditionnelles
Pour comprendre pourquoi la gravure sous vide à deux fluides est préférée pour les PCB de précision, comparez-la à la gravure par pulvérisation et immersion:
Pour la métrique | Gravure sous vide à deux fluides | Préparation à la gravure par pulvérisation | Gravure par immersion |
---|---|---|---|
Capacité de largeur de piste | Jusqu'à 3/3 mil (0,075 mm/0,075 mm) | Jusqu'à 5/5 mil (0,125 mm/0,125 mm) | Jusqu'à 8/8 mil (0,2 mm/0,2 mm) |
Uniformité de la gravure | Excellent (± 1 μm à travers le panneau) | Bien (± 3 μm) | Faible (± 5 μm) |
Taux de sous-cotation | ≤ 5% de la largeur des traces | 10 à 15% de la largeur des traces | 20 à 25% de la largeur des traces |
Taux de gravure (1 oz de cuivre) | 1 ‰ 2 μm/min | 2 ‰ 3 μm/min | 00,51 μm/min |
Substrats appropriés | FR-4, polyimide (flex), céramique | FR-4 (uniquement rigide) | FR-4 (seulement des substrats épais) |
Compatibilité avec la taille du panneau | Jusqu'à 24×36 | Jusqu'à 18×24 | Jusqu'à 12×18 |
Taux de défauts | < 1% | 3,5% | 8 à 10% |
Coût (relatif) | Haute (100%) | Moyenne (60 à 70%) | Faible (30 à 40%) |
Le meilleur pour | PCB de haute densité, flexibles, à haute fréquence et médicaux | PCB rigides standard (faible densité) | PCB simples à faible volume (prototypes) |
Les principaux enseignements
a.Vacum Two-Fluid: le seul choix pour les conceptions de précision (traces fines, HDI, flex) où l'uniformité et la sous-coupe minimale sont essentielles.
b. pulvérisation: rentable pour les PCB rigides standard mais insuffisant pour les conceptions avancées.
Immersion: peu coûteuse pour les prototypes, mais trop lente et imprécise pour une production à volume élevé ou complexe.
Principaux avantages de la gravure sous vide à deux fluides pour la production de PCB
Le procédé unique de gravure sous vide à deux fluides offre des avantages qui répondent directement aux besoins de la fabrication moderne de PCB:
1Une précision inégalée pour les traces fines
a. Tolérance de la largeur des traces: atteint ±2 μm, permettant des traces de 3/3 mil (0,075 mm) essentielles pour les PCB HDI dans les smartphones 5G et les accélérateurs d'IA.
b.Réduction de la sous-coupe: ≤ 5% de sous-coupe contre 10 à 25% pour les méthodes traditionnelles préserve la résistance de la trace et l'intégrité du signal. Par exemple, une trace de 0,1 mm ne présente qu'une sous-coupe de 0,005 mm,s'assurer qu'il ne se casse pas pendant l'assemblage.
c. Via Etching: La brume à deux fluides atteint de petites voies (0,1 mm de diamètre) pour éliminer le cuivre uniformément, évitant ainsi les défauts de "bosses de chien" courants dans la gravure par pulvérisation.
2. Uniformité supérieure de l' écorce sur les grands panneaux
a.Constance au niveau du panneau: le vide assure que le mélange de gaz gravure couvre toutes les parties de panneaux 24×36×, avec une variation d'épaisseur de ±1 μm, idéal pour la production en grande quantité de circuits imprimés automobiles ou de centres de données..
b. Compatibilité multi-couches: pour les cartes HDI avec 8 ∼ 12 couches, le procédé grave les couches intérieure et extérieure uniformément, réduisant la variation de couche en couche qui provoque le bruit croisé du signal.
3Compatibilité avec les substrats délicats
a.PCB flexibles: un mélange doux de gaz gravureux (ratio 3: 1) évite d'endommager les substrats de polyimide, qui sont sujets à la déformation lors de la gravure par pulvérisation.même après 10hPlus de 1000 cycles de flexion.
b.Substrats minces: fonctionne avec des PCB aussi minces que 0,2 mm (communément utilisés dans les appareils portables), où les gravures par pulvérisation à haute pression provoquent une flexion ou une rupture.
4Un débit plus rapide que la gravure par immersion
a. Vitesse de gravure: 1 μm/min pour 1 oz de cuivre est 2 × 4 fois plus rapide que la gravure par immersion, ce qui réduit le temps de production pour les séries à grand volume. Un fabricant traitant 10 000 PCB HDI / jour peut réduire le temps de cycle de 30% par rapport à.Une immersion.
b. Réduction du retraitement: un taux de défauts de moins de 1% signifie que moins de planches doivent être retraitées, ce qui augmente encore le débit et réduit les coûts.
5. Durabilité environnementale
a. Efficacité de la gravure: le mélange à deux fluides utilise 20 à 30% moins de gravure que la gravure par pulvérisation ou par immersion, ce qui réduit les déchets chimiques.
b.Recyclage du cuivre: les particules de cuivre capturées par le système sous vide sont recyclées, ce qui réduit les coûts des matières premières et les incidences sur l'environnement.
c. Conformité: répond aux normes ISO 14001 (gestion environnementale) et RoHS, sans produits secondaires dangereux.
Applications industrielles de la gravure à deux fluides sous vide
La gravure sous vide à deux fluides est indispensable dans les secteurs où la précision et la fiabilité ne sont pas négociables:
1. PCB HDI pour les appareils électroniques grand public
a.Cases d'utilisation: smartphones 5G, ordinateurs portables pliables, appareils portables (par exemple, Apple Watch, Samsung Galaxy Z Fold).
b.Pourquoi c'est essentiel: Ces appareils nécessitent 3/3 milli traces et 0,1 mm de microvias pour s'adapter à des circuits complexes dans des facteurs de forme minces.L'écriture sous vide à deux fluides garantit que ces traces sont suffisamment précises pour prendre en charge les signaux 5G mmWave (28GHz) sans bruit croisé.
c. Exemple: un fabricant de smartphones de premier plan utilise l'écriture sous vide à deux fluides pour ses PCB HDI à 12 couches, atteignant une précision de trace de 99,9% et réduisant les pannes de champ de 40%.
2. PCB flexibles et rigides pour l'électronique automobile
a.Cases d'utilisation: capteurs ADAS (systèmes d'assistance au conducteur avancés), systèmes de gestion de la batterie des véhicules électriques (BMS), info-divertissement embarqué.
b.Pourquoi c'est essentiel: les PCB flexibles dans les ADAS doivent se plier autour des cadres de véhicules tout en maintenant l'intégrité des traces.assurant une performance fiable dans les cycles thermiques de -40°C à 125°C.
c. Conformité: répond aux normes AEC-Q200 (fiabilité des composants automobiles), avec des paramètres de gravure traçables pour le contrôle de la qualité.
3PCB à haute fréquence pour les télécommunications et l'aérospatiale
a.Cases d'utilisation: amplificateurs de stations de base 5G, systèmes radar (automobiles/défense), émetteurs-récepteurs par satellite.
b.Pourquoi c'est critique: les signaux à haute fréquence (2860 GHz) sont sensibles aux irrégularités de trace.réduire la perte de signal de 15 à 20% par rapport à. gravure par pulvérisation.
c. Exemple: Lockheed Martin utilise le procédé pour les PCB de radar militaire, atteignant 99,99% d'intégrité du signal dans les environnements de combat.
4. Produits médicaux
a.Cases d'utilisation: capteurs implantables, sondes à ultrasons portables, équipement de diagnostic (par exemple, machines PCR).
b.Pourquoi il est essentiel: les PCB médicaux nécessitent des matériaux biocompatibles (par exemple, la céramique, le polyimide) et des traces précises pour éviter les interférences électriques.Le procédé doux de gravure sous vide à deux fluides préserve la biocompatibilité et assure des performances fiables dans des environnements stériles.
c. Conformité: répond aux exigences de l'ISO 13485 (qualité des dispositifs médicaux) et de la FDA, avec une traçabilité complète du processus.
5. Sensors pour l'IdO industriel
a.Cases d'utilisation: capteurs d'usine intelligents, dispositifs de surveillance du pétrole et du gaz, systèmes IoT agricoles.
b.Pourquoi il est essentiel: les capteurs de l'IoT fonctionnent dans des environnements difficiles (poussière, humidité, température extrême) et nécessitent des traces durables et précises.La gravure à vide à deux fluides garantit que ces traces résistent à la corrosion et maintiennent leur conductivité pendant plus de 10 ans..
Défis et solutions de la gravure à deux fluides sous vide
Bien que la gravure sous vide à deux fluides offre des avantages significatifs, elle pose des défis uniques à relever par des techniques spécialisées:
1. Coût initial élevé des équipements
Défi: les chambres à vide et les buses de précision coûtent 300 000 à 1 million de dollars, ce qui est prohibitif pour les petits fabricants.
Résolution:
Leasing: de nombreux fournisseurs offrent le leasing d'équipement (paiements mensuels de 5 000 $ à 15 000 $) pour réduire les coûts initiaux.
Fabrication sous contrat: Les petites entreprises peuvent s'associer à des CM (fabricants sous contrat) spécialisés dans la gravure sous vide à deux fluides, en évitant d'investir dans l'équipement.
2Calibration du mélange de fluides
Problème: des proportions incorrectes entre gaz et écorceur entraînent une insuffisance de gravure (trop de gaz) ou une surgravure (trop de liquide).
Résolution:
Systèmes de mélange automatisés: utilisez des mélangeurs contrôlés par ordinateur pour maintenir un rapport de 3: 1, avec une surveillance en temps réel du pH et de la densité.
Tests réguliers: effectuer des tests de coupons (petits échantillons de PCB) avant la production complète pour valider le mélange.
3Maintenance de la buse
Problème: les résidus de gravure obstruent les buseaux, provoquant une pulvérisation inégale et des défauts.
Résolution:
Nettoyage quotidien: rincer les buses à l'eau diluée après chaque quart de travail pour éliminer les résidus.
Remplacement régulier: Remplacer les buses tous les 3 à 6 mois (ou 10 000 PCB) pour maintenir la qualité du pulvérisateur.
4Une fuite de la chambre à vide.
Problème: Les fuites réduisent la pression, ce qui entraîne une gravure inégale et des bulles d'air.
Résolution:
Tests de pression hebdomadaires: utiliser des détecteurs de fuite d'hélium pour identifier les petites fuites (jusqu'à 1 × 10−9 mbar·L/s).
Remplacement des joints: les joints de la chambre doivent être remplacés tous les 6 à 12 mois pour éviter les fuites.
Meilleures pratiques pour des résultats optimaux de gravure à deux fluides sous vide
Pour maximiser les bénéfices du processus, suivez les lignes directrices suivantes:
1Optimiser les paramètres du fluide
a.Pour les traces fines (3/3 mil): Utiliser un rapport entre gaz et étancheur de 4:1 et une pression de 2 bar pour réduire au minimum le sous-coupe.
b.Pour le cuivre épais (2 oz+): augmenter la pression à 4 bar et réduire le rapport de gaz à 2:1 pour accélérer la gravure.
2Maintenir une pression de vide constante
a.Maintenez la pression de la chambre à 50 à 100 mbar; les fluctuations > 10 mbar provoquent une gravure inégale. Utilisez une pompe à vide de secours pour éviter les chutes de pression.
3. Contrôle de la température et de l'humidité
a.Température de chambre: 25°C à 30°C (la réactivité de l'éthant diminue en dessous de 25°C et augmente au-dessus de 30°C).
b.Humidité: < 40% (l'humidité dilue le gravureur et provoque une condensation sur le PCB).
4.Mettre en œuvre des contrôles de qualité rigoureux
a.Pré-grave: AOI pour les défauts photorésistants; rejeter les planches avec des trous d'épingle.
b.In-Etch: Surveillance en temps réel de l'épaisseur du cuivre pour éviter une surgrave.
c. Après gravure: profilométrie laser et analyse de la section transversale pour vérifier la largeur des traces et la coupe inférieure.
5- Traînez les opérateurs de train avec soin
a. Veiller à ce que le personnel comprenne le mélange des fluides, le contrôle de la pression et le dépannage (par exemple, obstruction de la buse, fuites de vide).
b. Effectuer une formation de mise à jour mensuelle pour maintenir la cohérence des processus.
Questions fréquentes
Q: Quelle est la largeur minimale des traces atteignable par gravure sous vide à deux fluides?
R: La plupart des systèmes peuvent graver de manière fiable des traces de 3/3 mil (0,075 mm/0,075 mm). Les systèmes avancés (avec des buses de 0,3 mm) peuvent atteindre 2/2 mil (0,05 mm/0,05 mm) pour les PCB HDI ultra denses.
Q: La gravure sous vide à deux fluides peut-elle être utilisée pour les PCB en céramique?
R: Oui, les PCB céramiques (par exemple, l'alumine, l'AlN) nécessitent une gravure douce pour éviter les dommages au substrat.
Q: À quelle fréquence un système de gravure sous vide à deux fluides nécessite-t-il une maintenance?
R: L'entretien de routine (nettoyage de la buse, remplacement du filtre à liquide) est nécessaire tous les jours.en fonction de l'utilisation.
Q: La gravure sous vide à deux fluides est-elle compatible avec les PCB sans plomb?
R: Oui les feuilles de cuivre sans plomb (utilisées dans les PCB conformes à la norme RoHS) gravent uniformément avec le procédé.assurer la conformité.
Q: Quel est le coût par PCB pour la gravure sous vide à deux fluides?
R: Pour la production en grande quantité (10 000 PCB/jour), le coût par unité est de 0,50$/1,50$ (contre 0,30$/0,80$ pour la gravure par pulvérisation).La prime est compensée par des coûts de retravail plus faibles et de meilleures performances pour les conceptions de précision.
Conclusion
La gravure sous vide à deux fluides a révolutionné la production de PCB pour des conceptions de précision, résolvant les limitations des méthodes traditionnelles de pulvérisation et d'immersion.sous-cotation minimale, et des résultats uniformes sur de grands ou délicats substrats le rendent indispensable pour les PCB HDI, flexibles et à haute fréquence, composants clés de l'électronique 5G, automobile et médicale.
Bien que les coûts initiaux de l'équipement soient plus élevés, le débit plus rapide du processus, les taux de défauts plus faibles et les avantages environnementaux justifient l'investissement pour les fabricants qui visent à être compétitifs sur les marchés modernes.En suivant les meilleures pratiques, l'optimisation des ratios de fluide, le maintien de la pression sous vide et la mise en œuvre de contrôles de qualité rigoureux permettent aux entreprises de libérer tout le potentiel de la gravure sous vide à deux fluides,la production de PCB répondant aux normes de performance les plus exigeantes.
Alors que les conceptions de PCB continuent de se rétrécir et que les vitesses augmentent (par exemple, 6G, 1Tbps Ethernet), la gravure sous vide à deux fluides restera un facteur essentiel, garantissant que les appareils électroniques sont plus petits, plus rapides,et plus fiable que jamais.
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